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罗茨水环真空机组的前级泵的工作液多采用水，也可采用有机溶剂（可用甲醇、乙醇、丙酮等有机溶剂）或其它液体，将前级泵作为闭路循环系统使用，可减少对环境的污染，同时大大提高了对有机溶剂的回收。其极限真空度由工作液的饱和蒸汽压决定。
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